Bias sputtering, английский Распыление с приложением к оубстрату напряжения смещения
Beta-back-scatter method, английский Бета-лучевой метод обратного отражения (применяется для измерения толщины покрытия по интенсивности обратного отражения бета-лучей от измеряемой поверхности)